TruPlasma Bipolar 4010等離子電源

簡(jiǎn)要描述：TruPlasma Bipolar 4010等離子電源新一代雙極性脈沖發(fā)生器
TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專(zhuān)為借助 PVD、PECVD 和反應(yīng)濺射工藝的等離子體輔助鍍膜技術(shù)而開(kāi)發(fā)；在太陽(yáng)能電池與半導(dǎo)體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中，其憑借靈活可塑的輸出信號(hào)的電弧管理提供出色結(jié)果。

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更新時(shí)間：2024-01-28
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TruPlasma Bipolar 4010等離子電源

新一代雙極性脈沖發(fā)生器

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專(zhuān)為借助 PVD、PECVD 和反應(yīng)濺射工藝的等離子體輔助鍍膜技術(shù)而開(kāi)發(fā)；在太陽(yáng)能電池與半導(dǎo)體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中，其憑借靈活可塑的輸出信號(hào)和的電弧管理提供出色結(jié)果。

極低電弧能量

全數(shù)字化電弧管理確保出色的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

可調(diào)波形

通過(guò)輸出信號(hào)變化輕松適配不同工藝。

一臺(tái)發(fā)生器，多種用途

直流電、被動(dòng)脈沖式直流電和雙極脈沖：得益于多種調(diào)整選項(xiàng)可節(jié)約成本。

集成的水冷

無(wú)需外部部件，因此空間需求極低。

QQ截圖20220531105122.png

TruPlasma Bipolar 4010等離子電源

頂級(jí)供電系統(tǒng)

典型應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榘雽?dǎo)體及光伏生產(chǎn)、建筑玻璃涂層以及質(zhì)量頂尖的裝飾性耐磨涂層制造。此外可特別用于 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）。

涂層、提高生產(chǎn)效率

具有極少電弧能量的全數(shù)字化電弧管理實(shí)現(xiàn)較高的涂層質(zhì)量和沉積速率。即使在要求嚴(yán)苛的反應(yīng)工藝中，TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列仍始終確保穩(wěn)定的工藝電源，從而保障穩(wěn)定的等離子體狀態(tài)。