布魯克ContourGT-X3 三維光學(xué)顯微鏡：

生產(chǎn)就緒的設(shè)計(jì)和可靠性

ContourGT-X結(jié)合了布魯克獲得的烙鐵頭/傾斜頭，獲得自校準(zhǔn)激光基準(zhǔn)，集成的圖案識(shí)別以及許多其他專(zhuān)有的干涉測(cè)量技術(shù)創(chuàng)新，以提供高產(chǎn)量的極其精確的表面計(jì)量。該系統(tǒng)的自動(dòng)化就緒配置可在幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行快速優(yōu)化，其功能包括用于提高X，Y，Z晶片放置精度的空氣穩(wěn)定器套件以及用于集成的PDU，EMO和真空系統(tǒng)，以及用于自動(dòng)裝載機(jī)末端的改進(jìn)的真空吸盤(pán)。 -效果器兼容性。

高精度平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)分辨率的成像

ContourGT-X電動(dòng)XY工作臺(tái)在X和Y方向上提供12英寸編碼運(yùn)動(dòng)。該平臺(tái)支持自動(dòng)例程，例如多點(diǎn)數(shù)據(jù)收集，以及用于大面積分析的縫合功能。0.5微米編碼器可提供可靠，可重復(fù)的自動(dòng)化和樣品定位。通過(guò)直觀的操縱桿和軟件界面控件，操作員可以輕松進(jìn)行樣品定位。

直觀的表面測(cè)量和分析軟件

布魯克的Vision64®操作和分析軟件提供了業(yè)界功能，簡(jiǎn)化的圖形用戶界面，將智能體系結(jié)構(gòu)與直觀的可視工作流以及廣泛的用戶定義的自動(dòng)化功能相結(jié)合，可進(jìn)行快速，全面的數(shù)據(jù)收集和分析。*的生產(chǎn)界面可讓ContourGT-X適應(yīng)幾乎所有生產(chǎn)環(huán)境和自動(dòng)化流程。該界面提供了用于自定義過(guò)程工作流，自動(dòng)映射和負(fù)載測(cè)量配方的工具。

布魯克ContourGT-X3 三維光學(xué)顯微鏡：

ContourGT-X 3D光學(xué)輪廓儀

用于研發(fā)和生產(chǎn)的自動(dòng)化，可計(jì)量的計(jì)量

ContourGT-X 3D光學(xué)輪廓儀為實(shí)驗(yàn)室研究和生產(chǎn)過(guò)程控制提供了性能的非接觸表面測(cè)量。作為十代白光干涉測(cè)量技術(shù)創(chuàng)新和設(shè)計(jì)的之作，該計(jì)量系統(tǒng)在業(yè)界大的視野范圍內(nèi)提供了的垂直分辨率。主要功能包括全自動(dòng)，大型電動(dòng)X，Y，Z平臺(tái)，頭部的傾斜/傾斜以及集成的空氣隔離臺(tái)。

ContourGT-X專(zhuān)為滿足苛刻的研發(fā)，質(zhì)量保證和過(guò)程質(zhì)量控制需求而全新設(shè)計(jì)，可提供具有標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的3D光學(xué)精度和耐用性。